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當前位置: 首頁 » 供應產品 » » 空氣泵 »OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵TGkine2200M-R

OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵TGkine2200M-R

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產品價格: 22.22/人民幣 
最后更新: 2023-11-03 05:42:02
產品產地: 上海市閔行區
發貨地: 上海市閔行區 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數: 113
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  • 公司基本資料信息
  •  
    產品詳細說明
    產品參數
    品牌OSAKA
    吸氣口法蘭ISO-B250 / VG250
    排氣口法蘭KF40 / KF50
    排氣速度N2 (L/s)2200
    起動時間≦10min
    排氣速度H2 (L/s)1800
    zui大壓縮比N22×108
    zui大壓縮比H23×103
    安裝方向任意
    可售賣地北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
    型號TGkine2200M-R

    OSAKA大阪真空

    TGkine-R系列磁懸浮復合分子泵

    具備了磁懸浮復合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列穩定的產品性能及廣受好評的特性,本系列更搭載了將工作數據、軸承使用次數等記憶在泵本體中的存儲功能,即使在維修期間更換控制器,也能夠傳輸數據。

    產品特點:

    省電設計??????
    在真空泵本體中,可存儲設置參數,運轉數據及異常歷史等。?
     
    ※即使在維護階段更換控制器,也可實現全數據轉移。??????
    支持多種通信接口規格 (兼容EtherCAT通信協定)??????
    適用于國際規格 CE/NRTL/SEMI-S2
    產品應用:半導體制造設備
    FPD制造設備
    太陽能電池制造設備
    玻璃/鏡片等光學部件加工
    鍍膜工藝
    加速器/宇宙環境模擬器
    技術參數:


    型號※1TGkine2200M-R
    吸氣口法蘭ISO-B250 / VG250
    排氣口法蘭※2KF40 / KF50
    排氣速度N2?(L/s)2200
    N2

    (付帶金屬保護網)?(L/s)
    2100
    H2?(L/s)1800
    zui大壓縮比N2>2×108
    H23×103
    zui大氣體流量※3、※4N2?(sccm)7000
    Ar?(sccm)3000
    起動時間(min)≦10
    停止時間(min)≦10
    到達壓力※5(Pa)<2×10-7
    (Torr)<1.5×10-9
    zui大排氣口壓力※6(Pa)220
    (Torr)1.65
    推薦前級泵(L/min)≧2000
    安裝方向任意
    質量(kg)59

    ?




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