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PIE等離子清洗機(jī)材料表面處理儀Tergeo-Plus去膠機(jī)

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產(chǎn)品價(jià)格: 20.00/人民幣 
最后更新: 2023-10-31 09:05:12
產(chǎn)品產(chǎn)地: 湖北武漢
發(fā)貨地: 湖北武漢 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長(zhǎng)期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 78
詢(xún)價(jià)  試用會(huì)員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 武漢邁可諾科技有限公司
    • 趙經(jīng)理先生 銷(xiāo)售經(jīng)理
    • 會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
    • 郵件tchiu@mycroinc.com
    • 手機(jī)18221354817
    • 電話(huà)
    • 傳真
    • 地址武珞路628號(hào)亞洲貿(mào)易廣場(chǎng)
    • 進(jìn)入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌美國(guó)PIE
    是否支持加工定制
    是否進(jìn)口
    電源220V
    用途范圍等離子蝕刻、去膠、表面清潔和活化
    艙體大小直徑160mm x 深280mm
    氣路控制標(biāo)配兩路MFC,最多可選配三路MFC
    控制系統(tǒng)7英寸電阻觸摸屏操作界面
    射頻頻率13.56MHz
    射頻功率標(biāo)配0~150W,可選配300W或500W
    可售賣(mài)地全國(guó)
    材質(zhì)高純度圓柱形石英艙
    型號(hào)Tergeo-Plus

    Tergeo-Plus桌面等離子體系統(tǒng)


    典型應(yīng)用:

    1)引線(xiàn)鍵合、倒裝芯片底部填充、器件封裝;

    2)用于碳質(zhì)污染物去除和氧化物還原的SEM/TEM樣品清潔;

    3)生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性;

    4)環(huán)氧樹(shù)脂粘合前的光學(xué)、玻璃和基板清潔;

    5)光刻膠灰化、去渣和硅晶片清洗;

    6)PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室;

    7)金屬與金屬或復(fù)合材料改進(jìn)結(jié)合;

    8)塑料、聚合物和復(fù)合材料改進(jìn)粘合;


    產(chǎn)品特點(diǎn):

    1、擁有雙等離子體源

    兩種清洗模式:直接模式和下游模式。用于高速蝕刻和表面改性的直接模式等離子體清洗:遠(yuǎn)程/下游模式等離子體清洗,用于溫和去除表面污染物,例如SEM/TEM脆弱易碎樣品清洗。

    直接/浸入式清洗模式

    遠(yuǎn)程/下游式清洗模式


    2、等離子傳感器

    可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子狀態(tài),并為用戶(hù)提供不同配方條件下等離子強(qiáng)度的定量反饋,實(shí)時(shí)顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監(jiān)測(cè)等離子灰化過(guò)程的進(jìn)程并用作終點(diǎn)指示器。


    3、連續(xù)或脈沖等離子

    脈沖比可以從100 調(diào)整到小于1。改變等離子體強(qiáng)度超過(guò)幾個(gè)數(shù)量級(jí)。


    4、過(guò)程控制功能

    壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計(jì)、雙等離子體強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。


    技術(shù)參數(shù):

    1、控制系統(tǒng)

    1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。

    2)程序控制:可編程,總共有20個(gè)程序,每個(gè)程序有3個(gè)清潔步驟。

    2、反應(yīng)腔體

    1)腔體材質(zhì):圓柱形石英玻璃艙;

    2)腔體容積:5.6L;

    3)腔體尺寸:內(nèi)徑:160毫米,深度:280毫米。

    3、射頻電源

    1)射頻頻率:13.56MHz;

    2)射頻功率:標(biāo)配0~75W;從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào),可選配150瓦、300瓦和500瓦。

    4、等離子源

    1)等離子強(qiáng)度探測(cè)器實(shí)時(shí)測(cè)量等離子源強(qiáng)度。

    2)外置電極設(shè)計(jì),高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

    5、氣體控制

    1)氣路控制:標(biāo)配兩路MFC;可選配三路MFC;

    2)質(zhì)量流量計(jì)可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量;

    3)一路(Venting and purging)氣體入口用來(lái)快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。


    邁可諾技術(shù)有限公司

    客服熱線(xiàn):4008800298

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