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PIE等離子清洗機材料表面處理儀Tergeo-Plus去膠機

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產(chǎn)品價格: 20.00/人民幣 
最后更新: 2023-10-31 09:05:12
產(chǎn)品產(chǎn)地: 湖北武漢
發(fā)貨地: 湖北武漢 (發(fā)貨期:當天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 77
詢價  試用會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 武漢邁可諾科技有限公司
    • 趙經(jīng)理先生 銷售經(jīng)理
    • 會員[試用會員產(chǎn)品]
    • 郵件tchiu@mycroinc.com
    • 手機18221354817
    • 電話
    • 傳真
    • 地址武珞路628號亞洲貿(mào)易廣場
    • 進入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細說明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌美國PIE
    是否支持加工定制
    是否進口
    電源220V
    用途范圍等離子蝕刻、去膠、表面清潔和活化
    艙體大小直徑160mm x 深280mm
    氣路控制標配兩路MFC,最多可選配三路MFC
    控制系統(tǒng)7英寸電阻觸摸屏操作界面
    射頻頻率13.56MHz
    射頻功率標配0~150W,可選配300W或500W
    可售賣地全國
    材質(zhì)高純度圓柱形石英艙
    型號Tergeo-Plus

    Tergeo-Plus桌面等離子體系統(tǒng)


    典型應(yīng)用:

    1)引線鍵合、倒裝芯片底部填充、器件封裝;

    2)用于碳質(zhì)污染物去除和氧化物還原的SEM/TEM樣品清潔;

    3)生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性;

    4)環(huán)氧樹脂粘合前的光學、玻璃和基板清潔;

    5)光刻膠灰化、去渣和硅晶片清洗;

    6)PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室;

    7)金屬與金屬或復合材料改進結(jié)合;

    8)塑料、聚合物和復合材料改進粘合;


    產(chǎn)品特點:

    1、擁有雙等離子體源

    兩種清洗模式:直接模式和下游模式。用于高速蝕刻和表面改性的直接模式等離子體清洗:遠程/下游模式等離子體清洗,用于溫和去除表面污染物,例如SEM/TEM脆弱易碎樣品清洗。

    直接/浸入式清洗模式

    遠程/下游式清洗模式


    2、等離子傳感器

    可實時監(jiān)測等離子狀態(tài),并為用戶提供不同配方條件下等離子強度的定量反饋,實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監(jiān)測等離子灰化過程的進程并用作終點指示器。


    3、連續(xù)或脈沖等離子

    脈沖比可以從100 調(diào)整到小于1。改變等離子體強度超過幾個數(shù)量級。


    4、過程控制功能

    壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、雙等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。


    技術(shù)參數(shù):

    1、控制系統(tǒng)

    1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。

    2)程序控制:可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟。

    2、反應(yīng)腔體

    1)腔體材質(zhì):圓柱形石英玻璃艙;

    2)腔體容積:5.6L;

    3)腔體尺寸:內(nèi)徑:160毫米,深度:280毫米。

    3、射頻電源

    1)射頻頻率:13.56MHz;

    2)射頻功率:標配0~75W;從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào),可選配150瓦、300瓦和500瓦。

    4、等離子源

    1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

    2)外置電極設(shè)計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

    5、氣體控制

    1)氣路控制:標配兩路MFC;可選配三路MFC;

    2)質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量;

    3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。


    邁可諾技術(shù)有限公司

    客服熱線:4008800298

    Q Q:3488598979



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