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23NPPB勻膠顯影機EDC-650Hz-23NPPB濕法刻蝕機

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產(chǎn)品價格: 65.00/人民幣 
最后更新: 2023-10-31 09:04:56
產(chǎn)品產(chǎn)地: 湖北武漢
發(fā)貨地: 湖北武漢 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 81
詢價  試用會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 武漢邁可諾科技有限公司
    • 趙經(jīng)理先生 銷售經(jīng)理
    • 會員[試用會員產(chǎn)品]
    • 郵件tchiu@mycroinc.com
    • 手機18221354817
    • 電話
    • 傳真
    • 地址武珞路628號亞洲貿(mào)易廣場
    • 進入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細說明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌Laurell
    是否支持加工定制
    是否進口
    操作方式智能程控
    轉(zhuǎn)速范圍0-12000rpm
    加速度范圍0-12000rpm
    工藝時間1-5999.9 sec/step
    存儲程序20條
    程序步驟51步
    轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
    處理基片尺寸10-150mm
    腔體材質(zhì)NPP聚丙烯
    試劑種類可選配至5種
    標準配置帶有樣品清洗,氮氣吹掃
    可售賣地全國
    型號EDC-650Hz-23NPPB

    一、產(chǎn)品概述:

    ????650型勻膠顯影機適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面顯影。一般勻膠顯影機由動力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成。

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    二、勻膠顯影機工作原理:

    顯影系統(tǒng)具有可編程閥,它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進行,如沖洗(通常是去離子水或溶劑),然后干燥(通常是氮氣)等最后的處理步驟。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在完全干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。勻膠顯影機還有可選擇的動態(tài)線性或徑向滴膠的特性。

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    三、勻膠顯影機主要性能指標:

    1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);

    2、Wafer&芯片:直徑6英寸(150毫米)的晶圓片或者5x5英寸(125毫米)的方片;

    3、非真空托盤:聚丙烯材質(zhì)非真空托盤,可承載2、3英寸及150毫米的晶圓片-并帶有背面清洗功能;

    3、轉(zhuǎn)動速度:0-3,000rpm;

    5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1;

    6、工藝時間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;

    7、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點精度小于0.006;

    8、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);

    9、分辨率:分辨率不超過1轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性不超過1轉(zhuǎn)/分,美國國家標準技術(shù)研究院(NIST)認證過的,并且無需再校準!

    10、腔體開關(guān)蓋板:透明ECTFE材質(zhì)圓頂蓋板,便于實時進行可視化操作;

    11、腔體材質(zhì)說明:用聚丙烯材質(zhì)制成的帶有聯(lián)動傳感觸點的合瓣式艙體;

    四、適用工藝(包括但不限于下述濕法制程)

    光刻膠顯影(KrF/ArF)

    SU8厚膠顯影

    顯影后清洗

    PostCMP清洗

    光罩去膠清洗

    光刻膠去除

    金屬Lift-off處理

    刻蝕微刻蝕處理

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    邁可諾技術(shù)有限公司

    客服熱線:4008800298

    Q Q:3488598979





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