3D形貌測試儀采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術

產品概述
隨著半導體技術的電子技術工藝的發展，電子產品都往小型化，輕薄化發展。iWatch的一經推出，穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。

卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術，能夠高精度還原產品的3D結構，對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和超強的穩定性，一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測，就是這款產品的主要應用領域。