本設備適用于多種密閉性容器的抽真空排氣作業，包括：霓虹燈，半導體，低溫容器，

實驗室裝備等。

    設備采用的分子泵為耐大氣壓啟動分子泵，前級泵配置油逆止閥，實現泵無返油現象，

在切斷電源或突然斷電后，防止返油和真空倒抽，進而完全避免了油蒸汽污染真空腔室

的可能。設備配置的高真空擋板閥采用了焊接式波紋管密封，漏率值達到了5.0x10^-12Pa，

設備極限真空達到了1.5x10^-5Pa。設備實現了結構緊湊、密封性能好、低能耗、性能穩定、

操作簡便、方便移動等優點。

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設備技術參數：

1、自然風冷，無需水冷，方便移動；

2、使用電壓：220V,380V；

3、設備總功率：1.3千瓦，2.5千瓦，3千瓦；

4、極限真空：1.5x10^-5Pa；

5、設備重量：85公斤，120公斤，155公斤等；

6、抽氣速率：300L/s,600L/s,1200L/s等；

7、其他：開機即可工作，無需預熱等待；

8、進氣接口一個或多個。