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| 產品參數 | |||
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| 產品名稱 | CMP研磨拋光液 | ||
| 產品規格 | 可定制 | ||
| 用途范圍 | ILD間介質層CMP研磨拋光液slurry平面研磨拋光 | ||
| 顏色 | 乳白 | ||
| 包裝 | 桶 | ||
| 濃度 | 10-50％ | ||
| 粒徑 | 10nm---10um | ||
| 純度 | 99.9999％ | ||
| 材質 | SiO?/Al?O?/CeO2/ZrO? | ||
| 外觀形態 | 液態 | ||
| 品牌 | 吉致電子 | ||
