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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 光弛 | ||
| 重量 | 約10000kgkg | ||
| 真空室 | SUS304 | ||
| φ1550mm×1800mm (H) | |||
| 工件架 | φ1400mm | ||
| 工件轉速 | 10rpm to 30rpm(可變) | ||
| 光學膜厚 | HOM2-R-VIS350A | ||
| 波長范圍 | 350nm to 1100nm | ||
| 膜厚計 | XTC/3 6 | ||
| 離子源 | 17cmRF | ||
| 達到壓力 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
| 排氣時間 | 15分（大氣壓～1.3×10-3?Pa) | ||
| 基板溫度 | 350℃ | ||
| 電源 | 3相 | ||
| 200v | |||
| 50/60Hz | |||
| 水流量 | 180升/分以上 | ||
| 空氣壓力 | 0.5MPa以上 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
