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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂/防水式4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手STWCR4160-300-PM 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂 | ||
| 產(chǎn)地 | 中國(guó) | ||
| 英文名 | wafer robot | ||
| 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng) | 160 mm、200 mm | ||
| 控制通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 軸數(shù) | 4 | ||
| 手臂 | 雙臂 | ||
| 到達(dá)距離 | 315mm | ||
| 升降軸最大行程 | 300mm | ||
| 可搬運(yùn)質(zhì)量 | 3kg | ||
| 使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 | ||
| 晶圓固定方式 | 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 類型 | 防水式 | ||
| 型號(hào) | STWCR4160-300-PM | ||
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