對閉壞控制方式機械手臂加上多軸規格
沒有水平移動軸也能夠搬運到并立配置的開閉安全門臺，由于布局設計運用自如，降低成本
適用于超級潔凈間要求的4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎上，解決了步進電機常見的丟步問題，
適用于2寸-300mm晶圓傳輸的新型雙臂機械手臂

采用即使在負載發生突變或者加減速過大的情況也能夠避免電機丟步現象的閉環控制方式
有效地提高了機械手臂的可靠性
電機配備絕對值編碼器，機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置
縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位置原點的時間
絕對值編碼器為機械式，不需要更換電池

可以和舊型號的本司產品兼容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶對現有設備的升級改造
高強度手臂?手臂第3關節處可承受3kg力（包含腕部機構模塊，手指，晶圓的質量）
機械手臂標準臂長：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
可根據設備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
可選伯努利方式手指（Option

產品型號 升降軸最大行程
STCR4160SN-200-CM 200mm
STCR4160SN-300-CM 300mm
STCR4160SN-400-CM 400mm
STCR4160SN-450-CM 500mm
STCR4160SN-500-CM 600mm

4軸圓柱坐標潔凈機械手臂STCR4160SN基本參數：
使用環境：潔凈間內的大氣環境
手臂：雙臂
到達距離：315mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸最大行程：200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬運質量：3kg (手臂第3關節處基準)