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| 產品參數 | |||
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| 腔體材質 | 石英 | ||
| 供電電源 | AC220V | ||
| 工作電流 | 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵) | ||
| 射頻電源功率 | 0-200W可調 | ||
| 射頻頻率 | 20.0MHz（偏移量小于0.2KHz） | ||
| 頻率偏移量 | 小于0.2KHz | ||
| 特性阻抗 | 50歐姆，自動匹配 | ||
| 真空度 | 1pa-30Pa | ||
| 氣體路數 | 雙路氣體輸入 | ||
| 氣體流量 | 10—160ml/min(可調) | ||
| 過程控制 | PLC人機界面自動與手動方式 | ||
| 清洗時間 | 1-99999秒鐘可調 | ||
| 功率大小 | 10-100可調 | ||
| 內腔尺寸 | 直徑150mm×270mm PT-5SM 容量5L | ||
| 外形尺寸 | PT-5SM型_600mmx500x480mm | ||
| 重量 | 45Kg | ||
| 真空泵 | 抽速4L/S | ||
| 真空室溫度 | 小于30°C | ||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | PT-5SM | ||
