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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
| 規格 | 900×700×604㎜ | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 重量 | 120kg | ||
| 尺寸 | 100*100*100 | ||
| 適用范圍 | 檢測工件表面各種輪廓參數 | ||
| 數量 | 10 | ||
| 影像系統 | 100萬～400萬像素可選 | ||
| 干涉物鏡 | 10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選） | ||
| Z軸行程 | 100mm，電動 | ||
| Z向掃描范圍 | 10mm | ||
| Z向分辨率 | 0.01nm | ||
| 可測樣品反射率 | 0.05-100 | ||
| 臺階高測量 | 準確度0.3，重復性0.08 1σ | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 檢測儀器 | ||
| 型號 | SuperViewW1 | ||
