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| 產品參數 | |||
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| 分辨率 | 0.5um | ||
| 放大倍率 | 26.6~171X | ||
| 操作方式 | 手動 | ||
| 測量行程 | 200×100 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 運動行程(mm) | 200×100 | ||
| 金屬臺尺寸(mm) | 354×228 | ||
| 玻璃臺尺寸(mm) | 210*160 | ||
| Z軸升降行程（mm） | 150 | ||
| 攝像機 | 1/3”彩色CCD | ||
| X、Y坐標示值誤差 | （2.5 L/100）μm | ||
| 變倍鏡頭倍率 | 0.7X~4.5X | ||
| 品牌 | 萬濠 | ||
| 分辨力 | ：0.5μm | ||
| 截面原點一致性誤差(μm) | G型：E0≤3 | ||
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