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1000(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 倉體結構(石英，約20升)Φ 245mm ×400Lmm
◆ 等離子發生器(德國)頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續調節,可連續長時間工作
◆ 控制系統觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)英國愛德華斡旋式干泵 GV40
美國MKS真空壓力控制節流閥及薄膜式傳感器
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管
美國MKS高精度電子質量流量計(2路氣體配制)
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
