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1350(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 倉體結構(鋁，約125升)500(W)×500(D)×500(H)mm
◆ 旋轉平臺Φ 400mm ，轉速可調節(jié)
◆ 等離子發(fā)生器(美國)頻率13.56MHZ,功率0-1250W連續(xù)調節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護,可連續(xù)長時間工作
◆ 控制系統(tǒng)觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)前級泵/ 英國愛德華爪式干泵 GV80
二級泵/ 英國愛德華羅茨泵 EH250(70L/S)
美國MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管
◆ 充氣系統(tǒng)美國MKS高精度電子質量流量計(四路氣體配制)
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
