真空等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品價格：	0/人民幣
最后更新：	2012-11-27 15:08:22
產(chǎn)品產(chǎn)地：	山東招遠(yuǎn)
發(fā)貨地：	山東招遠(yuǎn) (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	281

公司基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說明

◆ 外形尺寸

570(W)×420(D)×740(H)mm

◆ 倉體結(jié)構(gòu)(不銹鋼，約20升)

420(W)×270(D)×170(H)mm

◆ 電極面積

250(W) ×190(D) mm,3層

◆ 清洗模式

RIE or DP模式自動轉(zhuǎn)換

◆ 等離子發(fā)生器(韓國KM)

頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配

◆ 控制系統(tǒng)

觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，

性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

◆ 真空系統(tǒng)

德國萊寶(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)

進(jìn)口氣動角閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器

◆ 壓力控制

PID閉環(huán)自動穩(wěn)壓控制

◆ 氣路系統(tǒng)

2路工藝氣體+1路氮氣配置，電子質(zhì)量流量計、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路

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