1400℃三溫區(qū)真空管式氣相沉積爐

CNT真空管式氣相沉積爐主要為應(yīng)用在半導體,石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域。
※產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：   

1、可通入多種氣體，配100ml混氣罐;

2、采用三溫區(qū)獨立控溫，可實現(xiàn)不同溫度段同時工作；

3、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；
4、保護管采用高純石英管或剛玉管 ，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；

5、爐體采用雙層空氣隔熱技術(shù)，配有自動冷卻風扇，降低爐體外殼溫度；

6、控制系統(tǒng)采用進口40段程序控溫，控溫精度±1℃，移相觸發(fā)、可控硅控制；

7、真空系統(tǒng)6.67pa(機械泵)或6.67pa×10-3pa(擴散泵機組)

8、選配無紙記錄儀，記錄、存儲、顯示當前或歷史溫度曲線，也可通過U盤轉(zhuǎn)存入電腦。

8、選配西尼特智能溫控軟件，通過電腦進行全程監(jiān)控和操作；