供應萬濠Rational納米白光干涉儀AE-100M

產品價格：	1/人民幣
最后更新：	2013-12-02 15:01:13
產品產地：	廣東東莞
發貨地：	蘇州 (發貨期：當天內發貨)
供應數量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
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公司基本資料信息

蘇州量子儀器有限公司
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產品詳細說明

供應萬濠Rational納米白光干涉儀AE-100M
用途:
結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光盤/影碟、精密微機電組件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。
產品特點:
1.奈米深度3D檢測
2.高速/無接觸量
3.表面形狀/粗糙度分析
4.非透明/透明材質皆適用
5.非電子束/非雷射的安全量測
6.低維護成本
專業級的3D圖形處理與分析軟件（Post Topo）
1.提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
2.提供自動表面平整化處理功能
3.提供高階標準片的軟件自校功能
4.深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式
5.線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
6.（waviness）的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據（Wafer）
7.區域分析方式提供圖形分析與統計分析
8.具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能
9.量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本檔格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan)
1.系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋
2.垂直高度可達0.1nm
3.高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結果
4.垂直掃描范圍的設定輕松又容易
5.有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
6.平臺XYZ位置數顯示，使檢標的尋找快速又便利
7.具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的干涉條紋對比
8.具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇
9.具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌
10.具有自動布補點功能
11.可自行設定掃描方向
技術規格參數:

型號	AE-100M
移動臺(mm)	平臺尺寸100100 ，行程1313
物鏡放大倍率	10X	20X	50X
觀察與量測范圍	0.43*0.32	0.21*0.16	0.088*0.066
光學分辨力(um)	0.92	0.69	0.5
收光角度(Degrees)	17	23	33
工作距離	7.4	4.7	3.4
傳感器分辨率	640*480像素
機臺重量(kg)/載重kg	20kg/小于1kg
Z軸移動范圍	45mm , 手動細調
Z軸位置數字顯示器	分辨力1um
傾斜調整平臺	雙軸/手動調整
高度測量
測量范圍	100（um)(400um ,選配)
量測分辨力	0.1mm
重復精度	≤ 0.1％ (量測高度:>10um) ≤10um(量測高度1um 10um) ≤ 5nm(量測高度:<1um )
量測控制	自動
掃描速度(um/s)	12(最高)
光源
光源類型	儀器用鹵素（冷）光源
平均使用壽命	1000小時100W 500小時（150W）
光強度調整	自動/手動
數據處理與顯示用計算機
中央處理運算屏幕	雙核心以上CUP
影像與數據顯示屏幕	17 " 雙晶屏幕
操作系統	Windows XP(2)
電源與環境要求	AC100 --240 V 50-60Hz
環境震動	VC-C等級以上
測量與分析軟件
量測軟件	ImgScan 具VSI/ PVS/PSI 量測模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配）
分析軟件	ISO粗糙度/階高分析,快速傳利業轉換和濾波,多樣的2D和3D觀測視角圓,外形/面積/體積分析,圖像縮放,標準影像文件格式轉換,報表輸出,程序教導量測等.

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