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供應萬濠Rational測量型金相顯微鏡MTM-1510M
產品用途
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量
儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結
構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔
助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工
業領域。
產品特點
1.X、Y、Z軸0.5μm分辨率；
2.可選配白光納米檢測模組；
3.Z軸粗調/微調旋鈕；
4.同軸表面光/底光測量；
5.內建偏光量測光學模塊；
6.可量測透明材質納米級高度差
技術規格參數：
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型號 |
MTM-1510M |
MTM-2010M |
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工作臺 |
金屬臺尺寸（mm） |
210*160 |
260*160 |
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玻璃臺尺寸（mm） |
354*228 |
404*228 |
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X,Y運動行程（mm） |
150*100 |
200*100 |
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X,Y,Z分辨率 |
0.5μm |
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X,Y坐標示值誤差 |
E1XY=（2.5+L/100） |
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外形尺寸 |
590*560*850 |
590*560*850 |
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儀器重量（kg） |
100 |
110 |
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影像系統 |
彩色1/2"CCD攝像機；640*480像素；結合測量軟件 |
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顯微鏡系統 |
目鏡：10倍 |
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濾光片：紅，藍，綠，白 |
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測量模式：反射，透射，偏光 |
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5孔物鏡轉換器 |
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物鏡放大倍率誤差 |
包括畸變在內的放大率誤差≤0.008% |
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總放大倍數 |
50X——500X |
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照明系統 |
透射照明光源：白光LED，亮度可調 |
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同軸照明光源：鹵素燈，亮度可調 |
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物鏡 |
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倍率 |
5X |
10X |
20X |
50X |
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工作距離（mm） |
26.1 |
20.2 |
8.8 |
3.68 |
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高度量測模塊（選配件） |
光干涉高度量測模塊（M10-CA），高度量測分辨力0.5μm（選配） |
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倍率：10X，工作距離5mm，光學分辨力2μm |
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電源功耗 |
110V—220V 50/60Hz <60W |
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單層透明膜厚度測量模式 |
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高精度測量模式 |
快速測量模式 |
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厚度測量范圍 |
100nm-300nm |
300nm-500nm |
500nm-3μm |
3μm-20μm |
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分辨力 |
5nm |
5nm |
7.5nm |
0.1μm |
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