所有R5系列真空泵具有下列之共同特性:

1.   設計精密.結構堅固.重量輕.易于安裝及維護.

2.空氣冷卻（氣冷式）

.3.值結式驅動,可避免轉動皮帶及齒輪之松弛或損耗.

4.含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外.

5.進氣口有逆止閥,當泵浦停止時,此逆止閥可隔離泵浦于系統,避免真空油逆流.

6.低震動,不需用基礎螺拴固定泵浦.

7.運轉聲音小

.8.具氣體壓載閥,可適用于蒸氣之制程.

9.具氣體壓載閥，可適用于大量蒸氣之制程。即在真空度0.5mbar到40mbar之間進入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口完全排出,

而不會在泵浦內發生凝結現象.