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VPS干式螺桿真空泵特征
1) 工作腔內無水無油,通過轉子轉動產生清潔真空。
2) 單級設計可使固體廢棄物更容易排出并大幅減少留在泵內的殘余物。
3) 通過特殊涂層處理,可用于抽取有毒、有腐蝕性及可凝性氣體。
4) 工作方式不使用油或水,大幅降低操作成本。
5) 密封方式為機械或雙唇密封。
6) 簡便的設計易于設備維護。
7) 螺桿與螺桿之間及泵體與螺桿之間無接觸,使用壽命長。
8) 氣體通過泵體可迅速排出。
9) 螺桿轉子具有較高的容積效率。
10) 較低的轉速可降低振動及噪音。
干式螺桿泵的應用范圍:
在半導體合成及液晶生產上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。
在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
制藥行業,用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。
化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝
工業排氣;集中式真空處理系統
擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。
涉及無憂污水真空處理的所有應用
食品行業用于香料,香精濃度,食品包裝等。
VPS?大型干式螺桿真空泵?參數表
(變螺距干式螺桿真空泵)
型 號 |
VPS-P1500 |
VPS-P2700 |
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抽速 |
M3/h |
1250/1500 |
2250/2700 |
CFM |
735/882.8 |
1324/1589 |
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極限壓力 |
(Torr) |
0.1 / 0.05 |
0.1 / 0.05 |
(Pa) |
13.3 / 6.7 |
13.3 / 6.7 |
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電機功率Kw(50/60Hz) |
37 |
55 |
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泵轉速(RPM) 50/60Hz |
1450/1750 |
1450/1750 |
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口徑 |
入口(A) |
125 |
150 |
出口(B) |
80 |
100 |
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齒輪油(L) |
4 |
5 |
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冷卻水(L/min) |
20 |
28 |
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重量(Kg,泵體) |
1200 |
1500 |