高真空隔膜閥是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上用來截止或接通真空系統。高真空隔膜閥適用的工作介質為空氣及非腐蝕性氣性.高真空隔膜閥是真空系統中，供切斷或接通氣流之用。

高真空隔膜閥適用范圍：10 5 ～1.3x10 -4 Pa 

高真空隔膜閥漏氣率：6.7x10 -4 Pa.L/S 

高真空隔膜閥介質溫度： 

高真空隔膜閥隔膜為丁腈橡膠時－25℃～+80℃ 

隔膜為氟橡膠時－30℃～＋150℃

零件名稱

材料

閥體

碳鋼、不銹鋼

隔膜

丁腈橡膠、氟膠

閥桿

不銹鋼