專業制造氧化擴散爐

產品應用：應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領域，適用2～8英寸工藝尺寸

產品特點：
◆主機為水平一至四管爐系統構架，獨立完成不同的工藝或相同工藝
◆工業計算機控制系統，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制
◆采用懸臂送片器：操作方便、無摩擦污染等
◆關鍵部件均采用進口，確保設備的高可靠性
◆工藝管路采用進口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級電拋光管路），流量控制采用質量流量計（MFC）進口
◆控溫精度高，溫區控溫穩定性好；
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
◆高質量的加熱爐體，確保恒溫區的高穩定性及長壽命