太陽(yáng)能擴(kuò)散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對(duì)多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴(kuò)散工藝。目前有第二代閉管擴(kuò)散爐和第三代軟著陸擴(kuò)散爐。

擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)： 
     t可處理硅片尺寸：212英寸
     t外型形式：臥式14管結(jié)構(gòu)
     t工作溫度：200℃1300℃
     t恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃
     t單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃/24h
     t溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min
     t可控降溫速率： 5℃／min
     t送片裝置：全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
     t氣路系統(tǒng)：15路工藝氣體／管
     t氣體控制：全自動(dòng)MFC
     t控制方式：工控機(jī)、觸摸屏