43深圳TFT彩色屏幕|淺談TFT基板上面板放置與其掩模接合設(shè)計(jì)

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    曝光時間的降低
    制程制作的TFT基板，需要重復(fù)五次曝光制程，完成整個曝光動作的總時間越短，越能有效地增加儀器使用率，亦即，可以降低生產(chǎn)周期，提高產(chǎn)出，而掩模的更換和移動，都會花費(fèi)一些時間，如何設(shè)計(jì)出tact time較短的曝光制程，也是在面板接合掩模設(shè)計(jì)時要考慮的課題之一。

    基板上面板放置與其掩模接合設(shè)計(jì)
    一片TFT基板上會有許多個面板，還要考慮基板周邊無法使用的區(qū)域，以及對齊切割線的位置，而將面板有規(guī)律地安排在基板上，另外，還要計(jì)入所述的對準(zhǔn)標(biāo)示和測試鍵等。因此在掩模設(shè)計(jì)時，除了要考慮一個面板的接合方式以外，還要整體計(jì)算面板圖形在基板上的確實(shí)曝光位置，并把所需要的所有圖形都納入掩模中，設(shè)定其對應(yīng)的曝光位置，更增加了掩模接合設(shè)計(jì)的復(fù)雜度。

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