氣浮轉臺及其音圈直線電機氣浮平臺

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氣浮轉臺（空氣轉臺）是設法把主軸在空氣中懸浮起來，并可以穩定地高精度地旋轉， 這種懸浮是軸承腔內導入的壓力空氣來實現的，泄壓的縫隙極小，保證了轉動軸的懸浮。高速度，高精確度；無摩擦力；無磨損；不需要潤滑油；有卓越的速度控制性能；無噪音。正因為氣浮轉臺有這么多的優點，現在越來越多高精度的應用領域用空氣軸承來取代普通的機械軸承。
產品特點
1) 結構簡單（精巧）2) 回轉輕巧3) 運轉平滑4) 精密度高
5) 摩擦損耗小6) 無污染7) 壽命長8) 清潔
應用領域
1) 精密計量：圓度、垂直度、平面度、同心度、圓柱度的計量
2) 空間模擬裝置3) 三坐標儀4) 低速伺服轉臺5) 精密儀器軸承：圓度儀、摩擦力矩儀等6) 高速砂輪軸軸承7) 精密機床軸承8) 光學測試

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在超精密氣浮定位平臺研究工作中,對靜壓空氣軸承的安裝位置對系統影響的研究相對較少,本公司研制了一種新型機械結構的音圈直線電機氣浮導軌性能測試實驗臺,實驗臺導軌滑架采用焊接框架組合結構,實現不同類型氣浮軸承的更換及不同數量的氣浮軸承的安裝,形成不同結構布局的氣浮導軌,能夠滿足多種氣浮導軌的實驗研究,提高了氣浮導軌實驗臺的利用率和使用范圍。此實驗臺具有機械精度高、系統剛度大、結構穩定性好,安裝使用方便等特點。建立了雙邊直線電機驅動的H型氣浮精密定位平臺,對該精密定位系統的氣浮導軌設計方法和雙邊直線電機同步運動控制等關鍵技術進行了研究。利用有限元法設計了氣浮導軌,分析了氣膜壓力場的分布情況,采用預加載技術提高氣浮導軌的承載能力和剛度等性能。靜態特性實驗表明,開發的定位平臺氣浮導軌具有較高的承載能力和剛度,X、Y導軌的豎直方向靜剛度為XXX N/μm和XXXN/μm。設計了基于同步速度偏差的改進型并聯結構同步控制器,采用模糊控制實現PID參數的自適應在線整定。運動實驗表明,改進的控制器具有較高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制提高了3倍多,適合于具有強機械耦合的多電機同步運動控制。H型直線電機氣浮定位平臺具有承載能力強、精度高的優點,可以用于光刻機和光學檢測等精密工程領域。

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