愛發(fā)科原裝進(jìn)口小型真空鍍膜裝置 VFR-200M/ERH真空泵

產(chǎn)品價(jià)格：	200/人民幣
最后更新：	2013-12-16 16:55:00
產(chǎn)品產(chǎn)地：	日本
發(fā)貨地：	上海 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	237

公司基本資料信息

上海冬海機(jī)電科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

DEPOX系列／小型真空鍍膜裝置

特　性

在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、皮拉尼真空計(jì)、電離真空計(jì)、真空管、電力系統(tǒng)等必要機(jī)器的電阻加熱式小型真空蒸發(fā)裝置。DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構(gòu)造的4個類型。使用簡單，最適合用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)。

應(yīng)　用

1.	金屬與有機(jī)材料鍍膜裝置。
2.	真空排氣設(shè)備的多種組合。
3.	強(qiáng)化安全性與可靠性。
4.	多層鍍膜與同時鍍膜（最大：4 層）還配有額外蒸發(fā)電源與電極。
5.	玻璃鐘罩方便觀察與維護(hù)。

規(guī)格參數(shù)

型　號		VFR-200M/ERH
真空性能	極限壓力	8.0 × 10^-4Pa 6.0 × 10^-4Pa (使用液氮時)
真空性能	排氣時間	4.0 × 10^-3Pa/15min 3.0 × 10^-3Pa/15min (使用液氮時)
真空艙	鐘罩尺寸	玻璃鐘罩（直徑300mm × 300mm(H))
	饋通圈	12個端口（8側(cè)面、4底面）
	標(biāo)準(zhǔn)基板・最大尺寸 ^※1	□50mm ・ □140mm（最大）
供電系統(tǒng)	蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu)	1點(diǎn)式
供電系統(tǒng)	蒸發(fā)電源	SEREM　“PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
排氣系統(tǒng)	主泵	油擴(kuò)散泵（氣冷） 200 L/sec
	液氮冷阱	有
	前級泵	油旋片真空泵 100 L/min
	油霧過濾器	油霧過濾器　OMI-100
操作系統(tǒng)	主閥門	蝶閥
	副閥門	三向切換閥
	自動滲漏閥	可選
	控制	手動控制
控制系統(tǒng)	皮拉尼真空計(jì)	GP-1G
控制系統(tǒng)	電離真空計(jì)	GI-M2
外形	尺寸（主體）	730mm(W) × 603mm(D) × 1161mm(H)
	尺寸（蒸發(fā)電源）	480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
	重量（主體）	145kg
	重量（蒸發(fā)電源）	40kg

※1: 不考慮基板最大尺寸時的膜厚分布值。

條　件

型　號		VFR-200M/ERH
電源需求	主體	單相, 100V, 1.4kVA
電源需求	蒸發(fā)電源	單相, 200V, 1.5kVA
接地端子		D級（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件	主體：單相、100V	乙烯絕緣軟電纜（R3.5-4帯端子） 4m
附件	蒸發(fā)電源：單相、200V	乙烯絕緣軟電纜（R2.0-5帯端子） 2m

外形圖

VFR-200M/ERH

蒸發(fā)電源　SEREM

饋通圈

標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)造

※根據(jù)研究和開發(fā)的目的、可以變更。

可選部件

※如果您單擊一個選項(xiàng)，您可以看到這個選項(xiàng)中的內(nèi)容。

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