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| 規(guī)格參數(shù) |
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型 號
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VPC-1100 | |
| 真空性能 |
極限壓力
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4.0 × 10-4Pa 1.3 × 10-4Pa (使用液氮時) |
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排氣時間
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4.0 × 10-3Pa/10min 10-4Pa/10min (使用液氮時) |
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| 真空艙 |
鐘罩尺寸
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玻璃鐘罩 （直徑390mm × 350mm(H)) |
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饋通圈
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20個端口（14側(cè)面、6底面） | |
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標(biāo)準(zhǔn)基板・最大尺寸※1
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□50mm ・ □220mm（最大） | |
| 供電系統(tǒng) |
蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu)
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3點式 |
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蒸發(fā)電源
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SEREM “PSE-150C”，0 – 10V ，150A (最大) | |
| 排氣系統(tǒng) |
主泵※2
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油擴(kuò)散泵（水冷） 1100 L/sec |
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液氮冷阱
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有 | |
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前級泵
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油旋片真空泵 100 L/min ×2 | |
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油霧過濾器
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可選 | |
| 操作系統(tǒng) |
主閥門
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瓣閥 |
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副閥門
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三向切換閥 | |
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自動滲漏閥
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可選 | |
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控制
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手動控制 | |
| 控制系統(tǒng) |
皮拉尼真空計
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GP-1G |
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電離真空計
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可選 | |
| 外形 |
尺寸（主體）
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1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H) |
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尺寸（蒸發(fā)電源）
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安裝在設(shè)備的主體 | |
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重量（主體）
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313kg | |
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重量（蒸發(fā)電源）
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安裝在設(shè)備的主體 | |
| 條 件 |
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型 號
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VPC-1100 | |
| 電源需求 |
主體
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三相, 200V, 5.0kVA |
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主體
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單相, 100V, 1.0kVA | |
| 接地端子 | D級（接地抗阻/100Ω 或更低） | |
| 附件 |
主體 ： 三相，200V
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乙烯絕緣軟電纜（R3.5-4帯端子） 4m |
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主體 ： 單相，100V
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乙烯絕緣軟電纜（帶插頭） 4m | |
| 用水需求 | 1.5L/min（水溫：低于20-25℃，水壓：200kPa） | |
| 附件 | Rp1/4 (帶"Kantouch"軟管接頭) | |
| 推薦軟管※ | 蒂托輪編織軟管（內(nèi)徑9mm×外徑15mm） | |
| 外形圖 |
 VPC-1100 |
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蒸發(fā)電源 SEREM
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| 饋通圈 |
