美國AE Advanced Energy RF電源 美國AE

美國AE　Advanced Energy RF電源 Paramount 射頻功率輸送系統這款半機架的3kW 的 Paramount 射頻 RF 功率輸送系統擁有更強的功率和阻抗測量性能，能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負載下（電壓駐波比 VSWR 超過3:1），為您帶來出色的輸送功率精度和控制性能。能夠與最突然變化的等離子阻抗保持實時同步，Paramount 射頻功率輸送系統能為新一代技術節點帶來更快的轉換速度、更少的制程步驟以及更短的制程時間。其阻抗測量精度可與網絡分析儀的水平相媲美，而可選頻率的調諧幾乎可以瞬間實現（達到毫秒數量級），其速度較市場上的任何其它產品都快。從而實現真正卓越的精確性、可重復性和對制程的控制。 Apex 射頻供電系統通用 Apex 系列射頻電源和供電系統采用復雜的射頻轉換技術，在適合于真空室安裝的模塊化設計中提供增大的產品和工藝可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或數據存儲制造以等離子為基礎的薄膜工藝中表現優異。

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