BROOKS 5850E型流量控制器能精確的測量和控制氣體流量。其核心是一個可拆卸的測量氣體流量的探頭，該探頭產生跟流量成線性比例的電輸出信號用來顯示、記錄和/或控制。該裝置不需要氣體壓力進行連續的監測和重新調整就可以提供穩定的氣體流量。
操作原理
BROOKS流量控制器運用熱動力學原理，一個有精確電源的加熱器為內有連續穩定氣流的
傳感器套管的中部加熱，在同一套管距加熱器等距的地方各有一個電阻性的溫度測量元件。
沒有氣流時，到達兩個溫度測量元件的熱量是相等的：有氣流時則氣流帶走熱量，兩溫度
測量元件就有了溫度差異，溫度差異的大小和流量的大小成正比。該溫度差異通過橋式電
路來反映，然后放大裝置，以0－5V的輸出電壓輸出到控制電路。
◎在無流量的情況下，熱量會均勻的分散在每個溫度元件中，隨著流量的增加，流體帶著
熱量從上游（該處溫度為T1）到達下游，則下游溫度上升（該處溫度為T2），不同的溫
度上升通過兩處元件顯示，這種差異均衡的計量了氣流或流速，電路顯示溫度的不同而
放大器提供輸出量給控制電路也就是0.5伏的輸出信號?？刂齐娐繁容^設定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當設定值低于2％時，控制閥完全關閉，控制閥由它的控制
電路控制能完全打開或關閉?！?
控制電路比較設定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當設定值低于2％時，
控制閥完全關閉，控制閥由它的控制電路控制能完全打開或關閉。
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