美日對華半導體閥門等設備及零部件實施嚴格禁運,引發國產替代緊迫性。
2024年12月2日,美國發布了對華半導體出口管制措施,進一步加嚴對半導體制造設備、存儲芯片等物項的對華出口管制,并將140家中國實體增列至出口管制實體清單,還拓展長臂管轄,對中國與第三國貿易橫加干涉。
自美國政府將一批中國實體列入出口管制實體清單后,為配合美國對華芯片產業鏈制裁,日本政府反應迅速,加嚴了對華的半導體零部件出口限制。
此次禁運令不僅涵蓋了廣泛的半導體設備及零部件品類,而且在管制強度上也達到歷史之最。據供應鏈消息,美系廠商如世偉洛克(Swagelok)、Parker Hannifin等已告知實體清單上的140家客戶列為禁售。
根據行業研究機構調研報告,自禁運令實施以來,半導體設備閥門的庫存量急劇減少,且交貨周期不斷延長。外資品牌的斷供現象已經發生,導致國產品牌的價格上漲了10-20%。同時,交貨周期也由原來的1個月延長至3-6個月。在訂單端,打樣訂單的數量環比大幅提升,終端用戶和代理商都在加緊備貨,以應對可能的供應鏈風險。
半導體閥門的應用與市場格局
半導體閥門在晶圓生產過程中扮演著至關重要的角色,它們被廣泛應用于真空系統與流體系統內,涵蓋了化學氣相沉積(CVD)、光刻、離子注入、物理氣相沉積(PVD)、快速熱處理(RTP)、濕法刻蝕(WET)、CMP等關鍵工藝環節。在真空系統中,隔離閥、控制閥、傳輸閥等是常用的閥門類型;而在流體系統中,則主要采用隔膜閥、調壓閥、波紋管閥、單向閥等。
目前,全球半導體閥門市場呈現出高度集中的態勢,被少數外資巨頭所壟斷。其中,真空系統閥門市場由瑞士VAT公司主導,其2021年的全球市場份額高達75%。此外,MKS(美國)、VTEX(日本)、CKD(日本)、SMC(日本)、Ulvac(日本)等廠商也占據了不小的市場份額。在流體系統閥門市場方面,主要參與者同樣為美日企業,包括Swagelok(美國)、Fujikin(日本)、Parker Hannifin(美國)等。
國產替代的緊迫性與機遇
由于半導體閥門技術壁壘高且客戶認證周期長,受制于技術難度和產業經驗積累不足,當前中國半導體閥門的國產率低,大量依賴進口。尤其是在設備端的高端半導體閥門領域,國產替代幾乎為空白。在美國對華芯片產業鏈制裁不斷升級的背景下,設備廠和Fab廠為了保證供應鏈安全,對國產替代的需求日益強烈。
據了解,目前國內已有一批上市或非上市企業開始積極布局半導體閥門市場。上市公司中,新萊應材已成功打入國內外頭部客戶體系,包括眾多國際知名設備廠商,同時公司有多個新產品在加速研發完成送樣。晶盛機電的子公司晶鴻精密與日本Primet合資成立的紹興普萊美特,已經實現了6款隔膜閥的客戶驗證并量產。此外,還有多家非上市公司也在積極推出相關產品,加速國產替代進程。
隨著特朗普當選美國總統,無論是BIS清單的擴大、敦促Nvidia等企業排查在華產業鏈,還是限制AI芯片出口等措施,都顯示出美國對華技術封鎖將進一步加強的趨勢。在此背景下,國產替代將成為中國半導體產業發展的必由之路。
閥門斷供陸續有賣方首席分析師跟進調研。近期,自主可控以及光刻機等板塊出現了反彈跡象,市場正密切關注斷供的后續發酵以及國產替代的進展。