真空防輻射步進電機高低溫耐輻射電機星微自動化英國AML
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超高真空偏擺平臺角位臺俯仰臺角度±15°分辨率0.005°
真空運動平臺高精度分辨率1um重復(fù)定位精度0.2um
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真空高低溫耐輻照限位開關(guān)機械限位聚醚醚酮材質(zhì)英國AML