大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵，大金柱塞泵是液壓系統的一個重要裝置。它依靠柱塞在缸體中往復運動，使密封工作容腔的容積發生變化來實現吸油、壓油。柱塞泵具有額定壓力高、結構緊湊、效率高和流量調節方便等優點，被廣泛應用于高壓、大流量和流量需要調節的場合，諸如液壓機、工程機械和船舶中。大金柱塞泵性能概述有如下：V型柱塞泵，以獨特設計斜盤變化角度功能。廣泛應用于各種場所。特殊設計，在全壓力區內，保持低噪音性能。由多種控制方式整合，能形成系統，具有省能源、小型化、低成本功能等優點。功率損失小、減低油溫上升、可選配較小型油箱。廣泛應用于工具機、機慶、鍛壓、塑料成形機等。低噪音，每個系列中所有壓力范圍都實現了低噪聲音運轉，高效率。大金柱塞泵特點高密度介質排出：因采用了支撐斜盤，實現了小型輕量化、高壓化，從而提高了單位重量的輸出功率。低工作噪音：在提高斜盤構造剛性的同時，采用最新測量分析技術設計的機架，使運轉噪音大大降低。高效率：采用球閥板和適宜的油壓平衡，擴展了運轉條件且產生高效率。長效運轉：由于采用了優良的耐磨型球閥板，強化了抗污染特性。
大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵，復合壓力控制D:V15D12RAX-95,V15D12RBX-95,V15D12RPX-95,V15D12RNX-95,V23D12RAX-35,V23D12RBX-35,V23D12RPX-35,V23D12RNX-35,V38D12RAX-95,V38D12RBX-95,V38D12RPX-95,V38D12RNX-95,壓力補償控制A:V8A1RX-20,V15A1RX-95,V15A2RX-95,V15A3RX-95,V23A1RX-30,V23A2RX-30,V23A3RX-30,V23A4RX-30,V38A1RX-95,V38A2RX-95,V38A3RX-95,V38A4RX-95,V50A1RX-20,V50A2RX-20,V50A3RX-20,V70A1RX-60,V70A2RX-60,V70A3RX-60, 詳細型號如下，壓力補償控制A，V8A1RX-20、V8A1R-20、V8A1LX-20、V8A1L-20、V15A1RX-95、V15A2RX-95、V15A3RX-95、V15A1R-95、V15A2R-95、V15A3R-95、 V15A1LX-95、V15A2LX-95、V15A3LX-95、V15A1L-95、V15A2L-95、V15A3L-95、V15A3RX-95RC、V15A3R-95RC、V15A3LX-95RC、V15A3L-95RC, V23A1RX-30、V23A2RX-30、V23A3RX-30、V23A4RX-30、V23A1R-30、V23A2R-30、V23A3R-30、V23A4R-30、V23A1LX-30、V23A2LX-30、V23A3LX-30、V23A4LX-30、V23A1L-30、V23A2L-30、V23A3L-30、V23A4L-30、V23A3RX-30RC、V23A4RX-30RC、V23A3R-30RC、V23A4R-30RC、 V23A3LX-30RC、V23A4LX-30RC、23A3L-30RC、
V23A4L-30RC、V38A1RX-95、V38A2RX-95、V38A3RX-95、V38A4RX-95、V38A1R-95、V38A2R-95、V38A3R-95、V38A4R-95、V38A1LX-95、V38A2LX-95、V38A3LX-95、V38A4LX-95、V38A1L-95、V38A2L-95、V38A3L-95、V38A4L-95、V38A3RX-95RC、V38A4RX-95RC、V38A3R-95RC、在磁場的作用下，電子在向陽極運動的過程中，作螺旋運動，束縛和延長了電子的運動軌跡，從而提高了電子對工藝氣體的電離幾率，有效地利用了電子的能量，因而在形成高密度等離子體的異常輝光放電中，正離子對靶材轟擊所引起的靶材濺射更加有效。同時受正交電磁場的束縛，電子只有在其能量消耗盡時才能落在玻璃上，從而使磁控濺射具有高速、低溫的優點。
2 靶材狀況
大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵，通過對數套靶從開始使用到報廢全過程的觀察、記錄、分析，我們發現有非常一致性的規律，表1是一套靶報廢時的實測參數，其他靶的參數略有不同，但變化很小，規律一致。通過表1的實物測量數據，我們可以看出：V38A4R-95RC、V38A3LX-95RC、V38A4LX-95RC、V38A3L-95RC、V38A4L-95RC、V50A1RX-20、V50A2RX-20、V50A3RX-20、V50A1R-20、V50A2R-20、V50A3R-20、 V50A1LX-20、V50A2LX-20、V50A3LX-20、V50A1L-20、V50A2L-20、V50A3L-20、V50A3RX-20RC、V50A3R-20RC、V50A3LX-20RC、V50A3L-20RC、 V70A1RX-60、V70A2RX-60、V70A3RX-60、V70A1R-60、V70A2R-60、V70A3R-60、V70A1LX-60、V70A2LX-60、V70A3LX-60、V70A1L-60、V70A2L-60、V70A3L-60、V70A3RX-60RC、V70A3R-60RC、V70A3LX-60RC、V70A3L-60RC、組合控制C---自動調壓法H，V15C12RHX-95、V15C13RHX-95、V15C23RHX-95、V15C11RHX-95、V15C22RHX-95、V23C12RHX-30、V23C13RHX-30、V23C14RHX-30、V23C23RHX-30、V23C24RHX-30、V23C11RHX-30、V23C22RHX-30、V38C12RHX-95、V38C13RHX-95、V38C14RHX-95、V38C23RHX-95、V38C24RHX-95、V38C11RHX-95、V38C22RHX-95、V70C12RHX-60、V70C13RHX-60、V70C23RHX-60、V70C11RHX-60、V70C22RHX-60、本文根據進口磁控鍍膜玻璃生產線使用、維護經驗，詳細論述了通過調整陰極靶材磁場，如何有效增強靶材利用率。
論文關鍵詞：靶材,利用率,磁控濺射,磁場
有些國產單室磁控濺射設備的廠家采用補焊的方法來延長不銹鋼靶的壽命，由于其對鍍膜玻璃膜層質量要求不高，該方法效果不錯，但使用進口連續生產線的廠家，還沒有人采用該方法。
靶材濺射溝較深的幾個點，其濺射率最高，不但浪費靶材，還造成鍍膜玻璃膜層在橫向上不均勻。如果能降低濺射溝較深處幾點的磁場，不僅能提高膜層橫向均勻度，而且能延長靶材壽命，提高靶材利用率。
1 磁控濺射的工藝原理
在充入少量工藝氣體的真空室內，當極間電壓很小時，只有少量離子和電子存在，電流密度在10-15A/cm2數量極，當陰極（靶材）和陽極間電壓增加時，帶電粒子在電場的作用下加速運動，能量增加，與電極或中性氣體原子相碰撞，產生更多的帶電粒子，直至電流達到10-6A/cm2數量極，當電壓再增加時，則會產生負阻效應，即“雪崩”現象。此時離子轟擊陰極，擊出陰極原子和二次電子，二次電子與中性原子碰撞，產生更多離子，此離子再轟擊陰極，又產生二次電子，如此反復。當電流密度達到0.01A/cm2數量級左右時，電流將隨電壓的增加而增加，形成高密度等離子體的異常輝光放電，高能量的離子轟擊陰極（靶材）產生濺射現象。濺射出來的高能量靶材粒子沉積到陽極（玻璃毛坯）上，從而達到鍍膜的目的。
大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵，復合壓力控制D:V15D12RAX-95,V15D12RBX-95,V15D12RPX-95,V15D12RNX-95,V23D12RAX-35,V23D12RBX-35,V23D12RPX-35,V23D12RNX-35,V38D12RAX-95,V38D12RBX-95,V38D12RPX-95,V38D12RNX-95,壓力補償控制A:V8A1RX-20,V15A1RX-95,V15A2RX-95,V15A3RX-95,V23A1RX-30,V23A2RX-30,V23A3RX-30,V23A4RX-30,V38A1RX-95,V38A2RX-95,V38A3RX-95,V38A4RX-95,V50A1RX-20,V50A2RX-20,V50A3RX-20,V70A1RX-60,V70A2RX-60,V70A3RX-60, 詳細型號如下，壓力補償控制A，V8A1RX-20、V8A1R-20、V8A1LX-20、V8A1L-20、V15A1RX-95、V15A2RX-95、V15A3RX-95、V15A1R-95、V15A2R-95、V15A3R-95、 V15A1LX-95、V15A2LX-95、V15A3LX-95、V15A1L-95、V15A2L-95、V15A3L-95、V15A3RX-95RC、V15A3R-95RC、V15A3LX-95RC、V15A3L-95RC, V23A1RX-30、V23A2RX-30、V23A3RX-30、V23A4RX-30、V23A1R-30、V23A2R-30、V23A3R-30、V23A4R-30、V23A1LX-30、V23A2LX-30、V23A3LX-30、V23A4LX-30、V23A1L-30、V23A2L-30、V23A3L-30、V23A4L-30、V23A3RX-30RC、V23A4RX-30RC、V23A3R-30RC、V23A4R-30RC、 V23A3LX-30RC、V23A4LX-30RC、23A3L-30RC、
V23A4L-30RC、V38A1RX-95、V38A2RX-95、V38A3RX-95、V38A4RX-95、V38A1R-95、V38A2R-95、V38A3R-95、V38A4R-95、V38A1LX-95、V38A2LX-95、V38A3LX-95、V38A4LX-95、V38A1L-95、V38A2L-95、V38A3L-95、V38A4L-95、V38A3RX-95RC、V38A4RX-95RC、V38A3R-95RC、在磁場的作用下，電子在向陽極運動的過程中，作螺旋運動，束縛和延長了電子的運動軌跡，從而提高了電子對工藝氣體的電離幾率，有效地利用了電子的能量，因而在形成高密度等離子體的異常輝光放電中，正離子對靶材轟擊所引起的靶材濺射更加有效。同時受正交電磁場的束縛，電子只有在其能量消耗盡時才能落在玻璃上，從而使磁控濺射具有高速、低溫的優點。
2 靶材狀況
大金柱塞泵V15A3RX-95RC日本DAIKIN油泵，通過對數套靶從開始使用到報廢全過程的觀察、記錄、分析，我們發現有非常一致性的規律，表1是一套靶報廢時的實測參數，其他靶的參數略有不同，但變化很小，規律一致。通過表1的實物測量數據，我們可以看出：V38A4R-95RC、V38A3LX-95RC、V38A4LX-95RC、V38A3L-95RC、V38A4L-95RC、V50A1RX-20、V50A2RX-20、V50A3RX-20、V50A1R-20、V50A2R-20、V50A3R-20、 V50A1LX-20、V50A2LX-20、V50A3LX-20、V50A1L-20、V50A2L-20、V50A3L-20、V50A3RX-20RC、V50A3R-20RC、V50A3LX-20RC、V50A3L-20RC、 V70A1RX-60、V70A2RX-60、V70A3RX-60、V70A1R-60、V70A2R-60、V70A3R-60、V70A1LX-60、V70A2LX-60、V70A3LX-60、V70A1L-60、V70A2L-60、V70A3L-60、V70A3RX-60RC、V70A3R-60RC、V70A3LX-60RC、V70A3L-60RC、組合控制C---自動調壓法H，V15C12RHX-95、V15C13RHX-95、V15C23RHX-95、V15C11RHX-95、V15C22RHX-95、V23C12RHX-30、V23C13RHX-30、V23C14RHX-30、V23C23RHX-30、V23C24RHX-30、V23C11RHX-30、V23C22RHX-30、V38C12RHX-95、V38C13RHX-95、V38C14RHX-95、V38C23RHX-95、V38C24RHX-95、V38C11RHX-95、V38C22RHX-95、V70C12RHX-60、V70C13RHX-60、V70C23RHX-60、V70C11RHX-60、V70C22RHX-60、本文根據進口磁控鍍膜玻璃生產線使用、維護經驗，詳細論述了通過調整陰極靶材磁場，如何有效增強靶材利用率。
論文關鍵詞：靶材,利用率,磁控濺射,磁場
有些國產單室磁控濺射設備的廠家采用補焊的方法來延長不銹鋼靶的壽命，由于其對鍍膜玻璃膜層質量要求不高，該方法效果不錯，但使用進口連續生產線的廠家，還沒有人采用該方法。
靶材濺射溝較深的幾個點，其濺射率最高，不但浪費靶材，還造成鍍膜玻璃膜層在橫向上不均勻。如果能降低濺射溝較深處幾點的磁場，不僅能提高膜層橫向均勻度，而且能延長靶材壽命，提高靶材利用率。
1 磁控濺射的工藝原理
在充入少量工藝氣體的真空室內，當極間電壓很小時，只有少量離子和電子存在，電流密度在10-15A/cm2數量極，當陰極（靶材）和陽極間電壓增加時，帶電粒子在電場的作用下加速運動，能量增加，與電極或中性氣體原子相碰撞，產生更多的帶電粒子，直至電流達到10-6A/cm2數量極，當電壓再增加時，則會產生負阻效應，即“雪崩”現象。此時離子轟擊陰極，擊出陰極原子和二次電子，二次電子與中性原子碰撞，產生更多離子，此離子再轟擊陰極，又產生二次電子，如此反復。當電流密度達到0.01A/cm2數量級左右時，電流將隨電壓的增加而增加，形成高密度等離子體的異常輝光放電，高能量的離子轟擊陰極（靶材）產生濺射現象。濺射出來的高能量靶材粒子沉積到陽極（玻璃毛坯）上，從而達到鍍膜的目的。
